Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)
С 2010 года
Россия
Центральный ФО РФ
Москва
Зеленоград, Георгиевский проезд, 5\23
Содержание |
«Зеленоградский нанотехнологический центр» (АО «ЗНТЦ»), расположенный на площадке МИЭТ особой экономической зоны Москвы, обеспечивает полный цикл разработки и производства микросхем и датчиков физических величин для промышленных применений, оказывает комплекс технологических услуг для дизайн-центров, производителей радиоэлектронной аппаратуры.
Направления деятельности
Приоритетным направлением деятельности компании является развитие современных технологий производства и разработка перспективной высокотехнологичной продукции совместно с российскими научными организациями и производственными предприятиями (данные на август 2022г.).
Специализация
Специализацией АО «ЗНТЦ» является разработка и производство датчиков и сенсоров физических и химических величин для систем промышленной автоматики, авиационного и ракетно- космического приборостроения, энергетики и нефтегазовой промышленности, разработка интеллектуальных систем управления (данные на август 2022г.).
История
2022
Участие в разработке оптических трансиверов с применением фотонно-интегральной схемы
Компания Future Technologies 29 декабря 2022 года сообщила о том, что начинает разработку и производство оптических трансиверов с применением фотонно-интегральной схемы (ФИС).
Четырехстороннее соглашение подписано между Future Technologies (ООО «ФайберТрейд»), ФГБУН «Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе» (ФТИ им. А.Ф. Иоффе), ФИС Зеленоградским нанотехнологическим центром (АО «ЗНТЦ») и ФГАОУ ВО «Национальным исследовательским университетом «Московский институт электронной техники» (НИУ МИЭТ). Подробнее здесь.
План серийного производства фотонных чипов
Резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» – компания «Зеленоградский нанотехнологический центр» («ЗНТЦ») – готовится начать серийное производство фотонных интегральных микросхем и модулей для телекоммуникационного оборудования. Об этом 2 декабря 2022 года сообщил заместитель мэра Москвы по вопросам экономической политики и имущественно-земельных отношений Владимир Ефимов.
 | Фотонные технологии позволяют увеличить скорость передачи информации более чем в 100 раз, поэтому продукция с их применением востребована у производителей и заказчиков высокоскоростного оборудования. Развитие этой отрасли способствует укреплению технологического суверенитета страны. На декабрь 2022 года резидент особой экономической зоны столицы реализует комплексный проект по запуску серийного производства фотонных интегральных микросхем и модулей для телекоммуникационного оборудования. Компания намерена локализовать в России производство оптических мультиплексоров на основе кремниевых технологий. Начать поставку первых партий продукции планируется в 2023 году, а серийный выпуск – в 2024-м, – рассказал Владимир Ефимов. |  |
«ЗНТЦ» – одно из первых в России предприятий, которое будет производить фотонные интегральные схемы. Сегодня разработка и освоение таких технологий входит в число новых и наиболее перспективных направлений развития компании. Работы в области технологий фотоники и нанотехнологий ведут университеты, научно-исследовательские и коммерческие предприятия, но, как правило, в рамках научных исследований.«Группа Астра» в свободном доступе опубликовала курс по российской службе каталога ALD Pro для обучения администраторов 
В октябре 2022 года «ЗНТЦ» вошел в московский межотраслевой кластер фотоники, объединяющий профильные предприятия и научно-технические организации столицы. Межотраслевое объединение создано на базе Московского инновационного кластера.
| | Московский кластер фотоники является основной базой развития фотонных технологий в городе, обеспечивающих технологический суверенитет страны в этой области. Он поддерживает работу по переносу научных разработок в производство. На декабрь 2022 года в кластер входят 40 участников, около половины из которых являются резидентами особой экономической зоны столицы, – подчеркнул руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики Владислав Овчинский. | |
Разрабатываемые фотонные интегральные схемы могут применяться в высокоскоростных и энергоэффективных устройствах передачи и обработки телекоммуникационных сигналов. Это оборудование используется для бортовой аппаратуры и наземной инфраструктуры авиационно-космической отрасли, а также в телекоммуникационной отрасли для организации мощных информационных сетей 5/6G, подключения пользователей к высокоскоростному Интернету, IP-телефонии и IP-телевидению.
| | У нас накоплен значительный опыт в проектировании элементов фотоники. В настоящее время «ЗНТЦ» осваивает производство мультиплексоров, модуляторов делителей, интерферометров и резонаторов. Получены первые образцы кристаллов отечественного оптического волноводного AWG мультиплексора, который обеспечивает прохождение сигнала в телефонных и локальных компьютерных сетях и сетях передачи данных. Сейчас мы готовим серийное производство и в ближайшем будущем планируем выпускать не менее пяти тысяч изделий в год, – рассказал руководитель технологического направления интегральной фотоники «ЗНТЦ» Константин Певчих. | |
Оптический волноводный AWG-мультиплексор – это устройство, которое позволяет объединять электрические сигналы с различными интерфейсами – телефонными сетями, локальными компьютерными сетями, сетями передачи данных) – в единый групповой сигнал, преобразовывать в оптический вид и передавать по волоконно-оптическому кабелю на расстояние. Также «ЗНТЦ» планирует разрабатывать и выпускать разветвители, настраиваемые спектральные и частотные фильтры, термооптические переключатели, модуляторы.
| | Зеленоградский нанотехнологический центр является резидентом особой экономической зоны столицы более 10 лет, с 2011 года. За это время компания инвестировала в развитие производства почти три миллиарда рублей. На предприятии работает 190 человек, – отметил генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев. | |
Начало производства микросхем для промышленных устройств и робототехники
Резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» – «Зеленоградский нанотехнологический центр» (АО «ЗНТЦ») – начал выпускать импортозамещающую микроэлектронику для промышленной автоматики, робототехники и других высокотехнологичных отраслей. Об этом 21 октября 2022 года сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики, входящего в Комплекс экономической политики и имущественно-земельных отношений столицы, Владислав Овчинский.
| | Предприятие начинает мелкосерийное производство интегральных микросхем, предназначенных для контроля угла поворота в системах управления различных объектов, в том числе промышленных устройств и бытовой техники. Также разработка будет использоваться в робототехнике. Кроме того, она может применяться в автомобильной отрасли, в системах электронного управления двигателем, для корректировки положения фар и угла наклона кресел. Компания является резидентом ОЭЗ Москвы более 10 лет – с 2011 года. За это время она выручила от продажи продукции и разработок 3,4 миллиарда рублей, рассказал Владислав Овчинский.
| |
Предприятия, имеющие статус резидента ОЭЗ «Технополис Москва», получают дополнительную поддержку. Они освобождены от уплаты земельного, имущественного и транспортного налогов, ставка налога на прибыль для них снижена до двух процентов. Кроме того, с ввозимых ими товаров не взымаются таможенные сборы.
| | Предприятия микроэлектронной отрасли составляют большинство среди резидентов особой экономической зоны Москвы. На октябрь 2022 года их свыше 30. Именно они вносят наиболее ощутимый вклад в развитие столичной высокотехнологичной промышленности. Только за первую половину 2022 года сумма их инвестиций выросла по сравнению с тем же периодом 2021 года в 15 раз – с 700 миллионов до 11 миллиардов рублей. В частности, «Зеленоградский нанотехнологический центр» с 2011 года вложил в свое развитие около трех миллиардов рублей, подчеркнул генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев.
| |
Разработки «ЗНТЦ» соответствуют зарубежным аналогам. Специалисты предприятии при их создании использовали собственные технические решения.
| | На октябрь 2022 года одной из приоритетных задач «Зеленоградского нанотехнологического центра» является разработка технологий и последующая организация мелкосерийного производства конкурентоспособной микроэлектронной продукции для обеспечения независимости от зарубежных производителей электронной компонентной базы, добавила руководитель департамента продаж АО «ЗНТЦ» Елена Хаханина.
| |
Запуск первого в России производства транзисторов для систем связи 5G
Зеленоградский нанотехнологический центр (АО «ЗНТЦ») — резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис "Москва"» — откроет первую в России экспериментальную линию по выпуску кристаллов транзисторов на основе нитрида галлия (GaN-Si). Об этом говорится в сообщении официального портала Мэра и Правительства Москвы от 5 августа 2022 года. Такие радиоэлектронные компоненты используются при производстве мощных источников питания, модулей систем связи 5G, оборудования для серверов и дата-центров, беспроводных зарядных станций для электротранспорта.
ZNTC.jpg)
Фото: mos.ru
В подготовку своей инфраструктуры к выпуску кристаллов транзисторов на основе нитрида галлия, а именно — строительство и ввод в эксплуатацию участка для экспериментального производства, предприятие вложило около одного миллиарда рублей, сообщил заместитель Мэра Москвы по вопросам экономической политики и имущественно-земельных отношений Владимир Ефимов, подчеркнув, что «это первое подобное производство в России».
Начать мелкосерийное производство микроэлектроники на нитриде галлия по базовым технологиям ЗНТЦ планирует в 2023 году, уточнил со своей стороны руководитель столичного Департамента инвестиционной и промышленной политики Владислав Овчинский.
Ввод в эксплуатацию отдельного производственного участка, обладающего полной автономностью и независимостью от основной производственной линейки, позволит перейти к изготовлению изделий на подложках нитрида галлия от единичного производства к мелкосерийному, считают в ЗНТЦ.
По мнению экспертов, нитрид галлия является одним из самых востребованных и перспективных материалов современной электроники. Развитие технологий на основе этого полупроводника имеет стратегическое значение для телекоммуникации, автомобильной промышленности, промышленной автоматики и энергетики.
| | Ключевыми преимуществами транзисторов на GaN являются быстродействие в сравнении с изделиями на кремниевых подложках, возможность работы при высоком напряжении. Также они обладают лучшим показателем надежности, — заявила Галина Анатольевна Ширкова, руководитель Кристального производства Зеленоградского наноцентра. | |
.jpg)
Фото: mos.ru
Среднегодовой темп роста мирового рынка силовой электроники на GaN-Si, по прогнозам компании Yole Development, в ближайшие два года составит 85%. Отечественный рынок СВЧ и силовых транзисторов за последние 2-3 года существенно вырос, тем не менее по состоянию на 2022 год на территории РФ отсутствует серийное производство электронных компонентов на нитриде галлия.[1]
По словам генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолия Ковалева, Зеленоградский наноцентр совместно с технологическими и индустриальными партнерами уже работает над созданием полностью локализованной в России технологии производства электронной компонентной базы на основе нитрида галлия.[2]
2021: Модернизация производственной площадки для увеличения выпуска микроэлектроники
«Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ), резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис «Москва», провел модернизацию производственной площадки, что, как ожидается, позволит расширить выпуск микроэлектроники, а также даст начинающим инновационным компаниям, которые поддерживает центр, доступ к передовым технологиям. Об этом сообщил руководитель департамента инвестиционной и промышленной политики Александр Прохоров 21 июня 2021 года.
| | «Модернизация площадки позволит производить сложную микроэлектронную продукцию для источников питания, электрических двигателей, систем связи. Дополнительные технические возможности центра послужат развитию кластера микроэлектроники, оптики и робототехники ОЭЗ Москвы, который по итогам 2020 года вошел в число лидеров по инвестициям с вложениями на сумму 2,7 млрд рублей. ЗНТЦ за время работы в ОЭЗ в качестве резидента вложил в свою площадку боле 2 млрд рублей. Только за первый квартал 2021 года объем его инвестиций превысил 90 млн рублей», - отметил Александр Прохоров. | |
Зеленоградский нанотехнологический центр уже более 10 лет специализируется на разработках и серийном производстве изделий в области нано- и микроэлектроники. Кроме того, предприятие помогает начинающим компаниям развиваться: участвует в финансировании их проектов, а также обеспечивает необходимым высокотехнологичным оборудованием.
| | «Наноцентр представляет собой комплекс полного цикла для разработки и контрактного производства изделий микроэлектроники. Проведенная модернизация расширит возможности инноваторов по созданию новой и конкурентоспособной продукции. Задача Зеленоградского наноцентра – преобразование науки в рыночные решения и готовые продукты», - отметил генеральный директор ОЭЗ «Технополис «Москва» Геннадий Дегтев. | |
Модернизация площадки открыла возможности для доступа отечественных предприятий к таким технологиям, как 3D–интеграция многокристальных модулей, а также к сборке силовой и СВЧ-электроники на нитриде галлия и интегральной фотоники для систем связи. Технологии 3D-сборки используются, в частности, для сокращения габаритов приборов и аппаратуры.
Наноцентр обеспечивает возможности производства электронных модулей «под ключ», подчеркнул генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.
| | «Малым предприятиям, стартапам, студенческим проектам специалисты наноцентра помогают оптимизировать конструктивные решения, изготовить прототипы и опытные партии изделий. АО «ЗНТЦ» не только софинансирует проекты и предоставляет производственную линию, но и помогает компаниям выйти на рынок», - уточнил руководитель центра. | |
2015
АО «НИИ Молекулярной электроники и завод «Микрон» – заинтересовался разработками Национального исследовательского университета «МИЭТ» и АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (АО «ЗНТЦ») в области технологий элементной базы высокотемпературной микро- и наноэлектроники и выступил индустриальным партнёром. Проект получил поддержку Минобрнауки России в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014–2020 годы».
Соисполнителем НИУ МИЭТ по проекту является АО «ЗНТЦ», на базе которого разрабатываются специализированные прикладные технологические решения, обеспечивающие работоспособность элементной базы при температуре до 250оС. Так, например, для изготовления температуростойких и быстродействующих АЦП осуществляются специализированные технологические процессы на установке атомно-слоевого осаждения. Напыление тонких плёнок металлов и диэлектриков позволяет создавать трехкомпонентный наноразмерный диэлектрик с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k диэлектрики) для МIМ-конденсаторов.
«Созданные по новой технологии микросхемы используются, к примеру, в качестве параметрических изделий в автоматизированных системах измерения температур, контроля работы инструментов или двигателей. В процессе бурения температура достигает 250 градусов, и распределённые системы управления размещаются всё ближе к «горячим» частям авиационных и транспортных двигателей, погружным блокам бурильных установок. Во время бурения электронные системы контролируют давление, температуру, вибрацию и активно управляют распределительными клапанами и движущимися механизмами. Удовлетворение этих потребностей требует использования высокотемпературных компонентов. Соответственно, требования к работе при высокой температуре самой элементной базы тоже повышаются», – пояснил генеральный директор Зеленоградского нанотехнологического центра Анатолий Ковалёв[3].
Разработанные по данной технологии высокотемпературные компоненты найдут применение в приборах, работающих в экстремальных условиях, при управлении химическими процессами, а также для усиления и обработки сигналов датчиков в промышленном оборудовании, работающем при повышенных температурах в нефтегазовой промышленности, энергетике и промышленной автоматике.
Базовая технология изготовления таких микросхем уже существует, есть она и у «Микрона», но для работ в условиях высоких температур нужна модернизация её отдельных блоков. В основе технологии лежит использование специальных материалов – структур «кремний на изоляторе» (КНИ), микроплёночных конденсаторов. Но главное – это изменения в системах металлизации микросхем, необходимые для того, чтобы они выдерживали повышенную температуру и нагрузку. «Это требует разработки каждого элемента, формирования новых правил проектирования, библиотек элементов.
Такая элементная база востребована не только в ракетно-космической технике, но и в приборостроении для нефтегазовой промышленности, энергетике и двигателестроении.
Участок фотолитографии производства кристаллов Зеленоградского нанотехнологического центра В ходе выполнения проекта разрабатываются две основные технологии с проектными нормами 180 нанометров (0,18 микрон) и 0,5 микрон. НИУ МИЭТ отвечает за прикладные научные исследования и часть экспериментальных работ, включающих компьютерное моделирование технологических параметров, изготовление и испытание макетов, разработку правил проектирования, обобщение результатов. А Зеленоградский наноцентр отрабатывает технологические маршруты на линии. «Мы проектируем библиотеку элементов, а также разрабатываем технологию тонкоплёночных MIM-конденсаторов. Это сложный технологический приём с использованием атомно-слоевого осаждения (в английской транскрипции – ALD) для высокотемпературной электроники», – сказал Анатолий Ковалёв. На площадке Зеленоградского наноцентра будет реализовываться мелкосерийное производство специализированных групп изделий. А на «Микроне», где апробируются обе технологии, планируется наладить серийный выпуск высокотемпературной ЭКБ с проектными нормами 180 нанометров и 90 нанометров.
2014
- Создана технологическая инфраструктура для оказания полного цикла услуг в области разработки микро- и наноэлектроники. Особенно важно, что разработчики отечественных компонентов для микроэлектроники смогут за рубли заказывать услуги в области разработки любого цикла:
- электроники экстремальных применений,
- промышленной электроники.
- Активно развивалось направление по развитию стартапов на стыке электроники и медицины
В ходе пресс-тура будет представлена возможность ознакомиться с кристальным производством (чистыми комнатами), где ведутся разработки в области разработки датчиков, сенсоров, в т.ч. для автоэлектроники, автоматизированных систем управления.
По информации на декабрь 2014 года деятельность ЗАО «ЗНТЦ» ориентирована на выполнение ключевой задачи обеспечения перехода из области НИР, научно-исследовательской работы, в область конкретных рыночных внедрений. Это технологическая площадка, на которой должны вырастать и развиваться проекты, место встречи фундаментальной науки, современного производственного комплекса, финансовых ресурсов и коммерческих компетенций по трансферу технологий, привлечению индустриальных партнеров.
2013
По состоянию на ноябрь 2013 года Зеленоградский нанотехнологический центр – инновационная компания, осуществляющая исследования и разработки в области нано- и микросистемной техники.
Созданный многофункциональный комплекс включает полный цикл проектирования СБИС, полный цикл кристального производства микроэлектроники, нано- и микро-системной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле, 3d интеграция микросборок).
Площадь чистых комнат 450 кв. м., класс: 10 – 1000, линию сборки и тестирования функциональных и электрических параметров изделий микроэлектроники. Разработка и производство интегральных микросхем и полупроводниковых приборов соответствует требованиям ГОСТ РВ 15.002-2003 и РД В 319.015-2006 и обеспечивает удовлетворение условий, необходимых для обеспечения выполнения государственного оборонного заказа.
Совместно с ОЭЗ «Технополис Москва» была создана современная инфраструктура, обеспечивающая полный цикл работы новых предприятий.
2010: Основание центра
Центр основан в 2010г. МИЭТ и Зеленоградским инновационно-технологическим центром, Фондом образовательных и инфраструктурных программ (ОАО «Роснано») для генерации и поддержки новых бизнесов в области нано- и микроэлектроники и концентрирует значительную часть технологических ресурсов и компетенций.
Примечания